




真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域
在平板顯示器中
所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜,而且,幾乎所有類型的平板顯示器件都需要使用ITO膜,以滿足透明電器的要求。可以毫不夸張的說,沒有薄膜技術(shù),就沒有平板顯示器件。
在太陽能利用方面
當(dāng)需要有效地利用太陽熱能時,就要考慮采用對太陽光線吸收較多、而對熱輻射等所引起的損耗較小的吸收面。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。太陽光譜的峰值大約在波長為2-20μm之間的紅外波段。由于太陽輻射與熱輻射光譜在波段上有差異,因此,為了有效地利用太陽熱能,就必須考慮采用具有波長選擇特性的吸收面。
理想的選擇吸收面,是太陽輻射光譜的波段(可見光波段)吸收率(α)為1,在熱輻射波段(紅外波段)輻射率(ε)為0。
在防偽技術(shù)中
防偽膜種類很多,從使用方法可分為反射式和透射式;從膜系附著方式可以分為直接鍍膜式、間接鍍膜式或間接鍍膜剪貼式。
在飛機(jī)防護(hù)涂層方面
飛機(jī)的鈦合金緊固件,原來采用電鍍方法鍍鎘。但在鍍鎘中含有氫,所以在飛行過程中,受到大氣、海水的腐蝕,鍍層上容易產(chǎn)生“鎘脆”,甚至引起“空難”。
1964年,采用離子鍍方法在鈦合金緊固件上鍍鋁,解決了飛機(jī)零件的“鎘脆”問題。在離子鍍技術(shù)中,由于給工件施加負(fù)偏壓,可以形成“偽擴(kuò)散層”、細(xì)化膜層組織,因此,可以顯著提高膜層的耐腐蝕性能。
在光學(xué)儀器中
人們熟悉的光學(xué)儀器有望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)、測距儀,以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開鍍膜技術(shù),鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。
在信息存儲領(lǐng)域中
薄膜材料作為信息記錄于存儲介質(zhì),有其得天獨(dú)厚的優(yōu)勢:
由于薄膜很薄,可以忽略渦流損耗;磁化反轉(zhuǎn)極為迅速;與膜面平行的雙穩(wěn)態(tài)狀態(tài)容易保持等。
為了更精密地記錄與存儲信息,必然要采用鍍膜技術(shù)。
在傳感器方面
在傳感器中,多采用那些電氣性質(zhì)相對于物理量、化學(xué)量及其變化來說,極為敏感的半導(dǎo)體材料。此外,其中,大多數(shù)利用的是半導(dǎo)體的表面、界面的性質(zhì),需要盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低價格制作,因此,采用薄膜的情況很多。
在集成電路制造中
晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線等,多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)??梢?,氣相沉積是制備集成電路的核心技術(shù)之一。
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真空鍍膜設(shè)備的日常維護(hù)
真空鍍膜設(shè)備的運(yùn)行狀況直接影響生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)進(jìn)程等,為了使設(shè)備的運(yùn)行狀況良好,必須建立和完善設(shè)備的維護(hù)與維修制度、維護(hù)內(nèi)容、維修標(biāo)準(zhǔn)等。
設(shè)備的維護(hù)要有日常維護(hù)和定期維護(hù)
1,日常維護(hù)就是在當(dāng)天生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)設(shè)備有不良跡象,就馬上解決。optimalswa-i-05單一波長的光學(xué)監(jiān)測系統(tǒng),是間接控制,鍍膜機(jī)先進(jìn)的光學(xué)監(jiān)測軟件結(jié)合王博士的發(fā)展,有效地改善和靈敏度變化的光反應(yīng)的膜厚度的減少終的誤差的理論方法,提供監(jiān)測波長的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵的油少了就要添加,不要認(rèn)為這油是定期更換的,等到了時間再維護(hù),到時候可能泵的轉(zhuǎn)子就會磨損嚴(yán)重了。再比如工件轉(zhuǎn)架的軸承有些卡,就要更換軸承,而等到它徹底的壞了再換,問題可就大了,可能引起轉(zhuǎn)架電機(jī)燒毀等現(xiàn)象。
2定期維護(hù),有人會問有了日常維護(hù)還有必要定期維護(hù)嗎?其實(shí)每一種設(shè)備都有自己的使用壽命,比如擴(kuò)散泵用的的硅油,使用壽命為兩年左右,我就規(guī)定1年半把它換掉,這樣作是不是浪費(fèi),我覺得不浪費(fèi),從設(shè)備服務(wù)于生產(chǎn)來說是值得的,老板不希望看到的是機(jī)器在生產(chǎn)階段出現(xiàn)問題。3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選4、可集成手套箱系統(tǒng)5、可集成多種自動化應(yīng)用想了解更多產(chǎn)品信息,您可撥打圖片上的電話咨詢。只要你把日常維護(hù)和定期維護(hù)做好了,在延長設(shè)備壽命的同時,生產(chǎn)過程中出現(xiàn)故障的幾率也大大降低。生產(chǎn)效率也提高了。
3,設(shè)備保養(yǎng)和維修1重要的是講究“細(xì)心”,每一個人都力求做到“我辦事,你放心”,也就是說我做的事情不需要別人和自己再有懷疑!做好這一點(diǎn)可少走好多彎路,其次是要善于分析現(xiàn)象,不能盲目的拆卸。1964年,采用離子鍍方法在鈦合金緊固件上鍍鋁,解決了飛機(jī)零件的“鎘脆”問題。說到這里,很多人都遇到過真空方面的漏氣問題,真空部分出現(xiàn)了問題很麻煩,再加上我們公司沒有檢漏儀,這就要分階段來找。
真空鍍膜機(jī)原理
真空鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用為廣泛的真空設(shè)備,一般用真空室、真空機(jī)組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。做好這一點(diǎn)可少走好多彎路,其次是要善于分析現(xiàn)象,不能盲目的拆卸。本公司專業(yè)從事真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì)及的售后服務(wù)隊(duì)伍為您解決設(shè)備在使用過程中遇到的任何問題。
真空鍍膜機(jī)部件分析
真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用1多的有直徑1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔體由不銹鋼' target=_blank>不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。油擴(kuò)散泵的應(yīng)用壓強(qiáng)范圍是10-1帕-10-7帕,它是利用氣體的擴(kuò)散現(xiàn)象來排氣的,它具有結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,抽速大等特點(diǎn)。
輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機(jī)械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴(kuò)散泵三大部分組成。8M等,腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提,之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時候,機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動作。
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